Автоматизированная установка металлизации оконных стекол

Разработана технология и изготовлена полунепрерывная полностью автоматизированная установка металлизации оконных стекол размером 3x4 м, которые применяются в строительстве современных зданий. Покрытие состоит из пленки хрома толщиной 6 нм и защитного слоя SiO толщиной 6—25 мкм. Оба слоя наносят испарением в вакууме. Первой операцией является очистка стекла от загрязнений. Стекла помещают под небольшим углом к вертикали в ванну с горячим моющим раствором и обрабатывают вращающимися щетками. После промывки водой и сушки потоком очищенного горячего воздуха со стекол удаляют статический заряд путем ионизации окружающего воздуха коронным разрядом. Стекла группируют по парам, и в дальнейшем всем операциям подвергают два стекла, плотно прижатые друг к другу (покрытие наносят на одну поверхность каждого стекла). Для непрерывного ввода стекол из атмосферы в вакуум применена серия шлюзовых камер закрытого типа, изолированных друг от друга вакуумными затворами. Шлюзовая система позволяет вводить пару стекол каждые 3 мин, в то время как длительность всего цикла подготовки и металлизации составляет 23,5 мин. В установке предусмотрена обработка стекол тлеющим разрядом при давлении 1,3—2,7 Па в течение 2,5—3 мин для улучшения адгезии хромового покрытия. С этой же целью нагревают стеклянные пластины в вакууме 6,7-10~3 Па до температуры 260° С. Давление в камере металлизации (4-10\"3 — 6,7-10~3 Па) поддерживается 12 диффузионными насосами. В рабочей камере пластины непрерывно движутся, находясь в вертикальном положении. Заказ установок, которые непосредственные производители или поставщики оптом продают по доступным ценам, обходится в разы дешевле, чем та же продукция, заказанная в индивидуальном порядке.

Испарители расположены вдоль стенок прямоугольной камеры тремя вертикальными рядами с каждой стороны, содержащими по четыре испарителя. Таким образом, в рабочей камере находятся 24 испарителя, по 12 на одну металлизируемую поверхность. Каждый испаритель представляет собой цилиндрический вращающийся тигель, ось которого расположена горизонтально. Испаряемый металл удерживается у стенок тигля центробежными силами. Непрерывная догрузка тиглей производится из атмосферы через специальный шлюз и отверстие в дне тигля. Для нагрева каждого тигля применены три электронно-лучевые пушки мощностью по 50 кВт, расположенные под углом 120° друг к другу. Всего в испарительной камере находится 72 электронно-лучевые пушки общей мощностью 3600 кВт. Один вертикальный ряд испарителей предназначен для нанесения хромового покрытия, а два других — для испарения SiO. В работе сообщается, что неравномерность толщины покрытий вдоль всей поверхности стеклянной пластины размером 3x4 м не превышает сотых долей процента.