Изменение формы плоского испарителя

Равномерность толщины покрытия при испарении из прямоугольного тигля не зависит от его длины, так как вклады всех элементов испарителя, находящихся на равном расстоянии от оси, параллельной направлению движения, для любой точки полосы одинаковы, если длина зоны конденсации значительно больше длины тигля. Вместе с тем в центре полосы толщина покрытия больше, чем на ее краях. Поэтому равномерность толщины покрытия можно повысить за счет изменения формы испарителя. Представим себе испаритель, который плавно сужается от его краев к центру, так что это сужение уменьшает поток паров, приводящий к возникновению неравномерности толщины покрытия. Действие такого испарителя эквивалентно действию прямоугольного тигля, у которого скорость испарения уменьшается от краев к центру. Таким образом, эффект от сужения испарителя в центре и от перегрева краев прямоугольного тигля одинаковы, это следует также из соответствующей формулы. Для повышения результатов и безопасности на промышленных предприятиях часто рекомендуется купить тепловизор импортного производства.

Если ширина тигля меньше или равна ширине полосы, то не существует функции, обеспечивающей точное выполнение равенства. Выше было показано, что в некоторых случаях даже для двух ленточных испарителей, расположенных под краями полосы, толщина покрытия в центре подложки больше, чем на краю. Поэтому при любой форме испарителя равномерность толщины покрытия будет хуже, чем при двух ленточных испарителях. Абсолютная равномерность толщины покрытия также недостижима при некоторых параметрах. При выборе формы испарителя следует задаться критерием оптимальности, т. е. поставить условие, чтобы неравномерность толщины на участке подложки не превышала допустимой величины. Приемлемые для практики методы решения обратных задач такого типа в общем виде отсутствуют. Поэтому ограничимся анализом и сравнением вариантов, в которых будем задавать вид функции, выбирая ее из класса наиболее простых, например, степенных. Простейшим усовершенствованием формы испарителя является изменение его длины по линейному закону так, чтобы в центре испарителя его длина была равна нулю. На ЭВМ из формулы получено соотношение, удовлетворяющее условию оптимальности, из которого следует, что при практически важных значениях ширина испарителя должна быть больше ширины полосы, в противном случае толщина покрытия в центре будет больше, чем на краю. Отношение может служить показателем равномерности толщины.