Горизонтальный экран между испарителем и подложкой

Применение пассивных (т. е. полностью задерживающих все попадающие на них испаренные атомы) экранов — один из простых и эффективных способов улучшения равномерности толщины покрытий. Если между точечным или элементарным поверхностным испарителем и подложкой поместить экран и производить испарение в вакууме не ниже 10 Па, то на подложке получится четкое изображение экрана. Если же применить испаритель конечных размеров, то экран создаст на подложке область, аналогичную полутени в оптике, в пределах которой толщина покрытия плавно изменяется от точек, полностью закрытых экраном (тень), до точек, полностью открытых. В формировании покрытия в области полутени участвует не весь испаритель, а только его часть. Можно расположить экран таким образом, что в одной зоне будет происходить наложение двух полутеней, имеющих противоположные направления убывания толщины, в результате чего будет обеспечена высокая равномерность.

Задача заключается в нахождении оптимальных параметров экрана, обеспечивающих максимальную равномерность толщины покрытия при известной геометрии испарения. Расположение экрана должно быть симметричным относительно вертикальной оси, соединяющей центр испарителя с осевой линией полосы. Кроме того, экран не должен уменьшать толщины покрытия на краю полосы (т. е. для этих точек испаритель должен быть открытым), а назначение его — лишь поглотить часть потока паров, который без экрана создает в центре полосы максимум толщины.

Дополнительная информация: широчайший выбор коксохимического, энергитического, сталеплавильного, доменного, транспортно-разгрузочного и дробильно-размольного оборудования представлен на торговом портале ДТС. Также на сайте можно найти оборудование для горно-обогатительной и газо-нефтеперерабатывающих отраслей.