Неравномерное распределение температуры

Различные методики расчетов позволяют не только выбрать оптимальную форму испарителя, но и определить зоны подвода плотности мощности к поверхности расплава при электроннолучевом испарении. Если создать в тигле неравномерное распределение температуры, повышая ее под краями полосы, то можно улучшить равномерность толщины покрытия. Покрытие наносят на стальную полосу в два приема. После прохождения над испарителем первый раз полоса образует виток и снова возвращается в зону напыления, но так, что второй раз она оказывается с другой стороны от испарителя. Таким образом, в зоне напыления находятся сразу два участка полосы, а испаритель располагается симметрично относительно этих участков под линией их соприкосновен и я.

Рассмотрим формирование покрытия на любом участке полосы. Это покрытие не будет столь же эффектным, как офисные стойки ресепшн, но всё же будет способным защитить поверхность от воздействий различного характера. На первом этапе наносится неравномерное по толщине покрытие. Вследствие ассимметричности испарителя и этого участка максимум толщины получается на том краю полосы, который проходит на кратчайшем расстоянии от испарителя, а минимум — на другом конце полосы. При втором проходе данный участок полосы смещается относительно первоначального положения на расстояние, равное ширине полосы, так что на кратчайшем расстоянии от испарителя находится уже тот участок, где толщина покрытия была минимальной. Распределение толщины, при втором проходе (без учета первого прохода) также неравномерно, но является обратным по отношению к распределению после первого прохода. Высокая равномерность толщины покрытий обеспечивается при сложении указанных распределений.

В отличие от всех рассмотренных выше способов, в данном случае удается наряду с улучшением равномерности толщины покрытий повысить коэффициент использования паров. Преимущества предложенного способа особенно четко выявляются при сравнении его с обычными, когда полоса располагается симметрично относительно испарителя, а покрытие наносится за один проход. Размеры полосы, испарителя и расстояния испаритель—подложка выбраны одинаковыми в обоих вариантах. Недостатком предлагаемого способа является увеличение ширины вакуумной камеры и некоторое усложнение механизма транспортировки полосы, если необходимо возвращать полосу в камеру. Этого усложнения можно избежать, используя установку полунепрерывного типа. При этом следует загружать сразу два рулона и наносить покрытие на две полосы одновременно, расположив их симметрично относительно испарителя. При втором цикле нанесения покрытия рулоны необходимо поменять местами, что обеспечит условия для получения высокой равномерности толщины.