Плосколучевые пушки

Наиболее совершенные плосколучевые пушки разработаны фирмой Темескал (США). В пушках фирмы Темескал использованы аноды и катоды в виде стержней. Отклоняющие системы поворачивают плоский луч на 180°, так что система формирования луча находится в стороне от поверхности испарения, под тиглем. Анодное напряжение из соображений безопасности и защиты от рентгеновского излучения не превышает 20 кВ. Мощность пушки зависит от анодного напряжения и площади эмиттирующей поверхности катода. При выборе тока эмиссии учитывают долговечность катода. Так, катод длиной 100 мм работает при напряжении 17 кВ и токе эмиссии 3 А более 300 ч, при токе эмиссии 6 А — 100 ч и при токе 9 А — всего 50 ч. Разрушение катода вызвано ионной бомбардировкой, интенсивность которой возрастает при увеличении тока эмиссии. Для повышения стабильности работы применяют питание всех элементов пушек только постоянным током.<br>

В создании плосколучевых пушек большой мощности, как и при приёме металла не существует ограничений по весу. Предпочтение отдают распределению всей необходимой мощности на несколько пушек средней мощности. В непрерывном агрегате фирмы Темескал (США) один тигель бомбардируют электронные пучки от шести пушек мощностью по 50 кВт каждая с независимой регулировкой. Скорость испарения Al, Ti, Ni и других металлов составляет 40—45 кг/ч. Предусмотрено устройство для непрерывной подачи испаряемого материала в виде проволоки, чушек, отливок или расплава.<br>

Серия пушек аксиального типа для испарения в вакууме разработана фирмой Лейболд—Гереус. В опытно-промышленном агрегате применены испарительные блоки мощностью 100 кВт, состоящие из двух керамических тиглей и четырех аксиальных пушек. Электронные лучи круглого сечения входят в рабочую камеру через небольшие отверстия, так что режим работы пушки не зависит от давления в вакуумной камере, скорости испарения и газовыделения при испарении. Магнитная отклоняющая система поворачивает луч на 180° и направляет его в тигель. Предусмотрено сканирование луча по поверхности расплава. Такое устройство предназначено для нанесения покрытий на непрерывно движущуюся стальную полосу шириной 400—600 мм. Тигли для испарения алюминия имеют стальной кожух, охлаждаемый водой и облицованный толстостенной керамикой; срок службы тигля порядка 100 ч.