Выбор давления в шлюзовых камерах

При выборе давления в шлюзовых камерах необходимо учитывать следующие рекомендации.

1. Перед первой ступенью разрежения целесообразно предусмотреть ступень с малым избыточным давлением, с тем чтобы в установку не засасывалось большое количество пыли.

2. Натекание в рабочую камеру из последнего шлюзового отсека не зависит от давления в нем, если оно ниже 1 Па. Поэтому давление в последней шлюзовой камере следует выбирать порядка 0,27 Па или даже немного выше.

3. С целью унификации оборудования и упрощения обслуживания насосы первых двух шлюзовых камер целесообразно выбирать одинаковыми.

Правильный выбор давления в шлюзовых камерах столь же важен, как выбор фасовочного оборудования для конкретного производства. В работах сделана попытка рассчитать оптимальные характеристики шлюзовых систем, т. е. определить минимальное число ступеней шлюзования и минимальную суммарную длину шлюзовых каналов при минимальном суммарном потоке газа, откачиваемого всеми вакуумными насосами шлюзовой системы. Недостатком принятой методики является то, что все расчеты проводились в каком-то одном режиме течения газа, т. е. в вязкостном или молекулярном, в то время, как в реальных шлюзовых системах вид течения изменяется от шлюза к шлюзу, что существенно сказывается на аэродинамическом сопротивлении шлюзовых уплотнений.

При расчете вакуумного откачного оборудования непрерывной линии, кроме натекания через шлюзовые уплотнения, необходимо учитывать также газовыделение с поверхности стальной полосы, особенно если она нагревается до высокой температуры. В работах показано, что при температуре 400° С газовыделение с обеих сторон очищенной стальной полосы составляет 0,6 • 103—1,3-103 (л-Па)/м2. Объем выделяющегося газа, по закону Бойля—Мариотта, обратно пропорционален давлению, поэтому основную дегазацию целесообразно проводить в среднем вакууме порядка 0,1 Па в специальной камере, расположенной между последней шлюзовой камерой и рабочим объемом.