Предотвращение попадания в камеру сора

Для предотвращения попадания в камеру загрязненного воздуха и влаги авторы работы предлагают на входы крайних шлюзовых камер устанавливать электромагнитные клапаны, соединенные с атмосферой посредством фильтрующих камер. Для нанесения покрытий толщиной более 15 мкм (методом катодного распыления) И. Л. Блаер и Ю. В. Аникин описывают шлюзовое устройство, в котором рабочая камера снабжена приспособлением для стопорения транспортирующего механизма, причем это приспособление сблокировано с источником подачи напряжения на электроды. Недостатком систем со шлюзовыми затворами является сложность и громоздкость оборудования, трудность согласования работы всех звеньев линии при большом числе шлюзовых камер и малая надежность работы.

Столь же широкое распространение, как компрессорное оборудование, в последнее время получили шлюзовые устройства открытого типа, в которых уплотнение производится самими деталями или материалом, подлежащим металлизации. Один из вариантов такого шлюза, применяемого для ввода в вакуумную камеру подложек с масками: подложки загружают в транспортирующие блоки («спутники»), которые перемещаются по прямоугольному треку. Натекание в шлюзовые камеры возникает только в местах зазоров между транспортирующими блоками и стенками прямоугольного канала.

Различные типы шлюзов разработаны для непрерывного ввода в вакуумную камеру из атмосферы стальной полосы. Наиболее простыми являются щелевые шлюзы, в которых стальная полоса уплотняется мягкими эластичными прокладками либо вообще не уплотняется, но тогда принимаются меры для уменьшения сечения зазоров между полосой и телом шлюзов и для их удлинения. Оригинальная конструкция шлюзового затвора для ввода в камеру стальной полосы приведена в описании к патенту [122]. Шлюзовая камера, через которую протягивается полоса, заполнена металлическими шариками, так что доступ воздуха затруднен многочисленными каналами — зазорами между ними.