Усовершенствованная схема процесса получения фольги

Усовершенствованная схема процесса получения фольги рассмотрена в описании к соответствующему патенту. Подложка в виде движущейся замкнутой ленты не размещается полностью в вакуумной камере, а входит в нее и выходит в атмосферу через систему шлюзов. Перед поступлением в камеру ленту тщательно очищают от остатков конденсата и по специальной технологии обрабатывают для ослабления адгезии. Фольга из сплава Ni-Cr образуется при электронно-лучевом испарении и конденсации паров на предварительно нагретой до температуры 100—300° С подложке. Из камеры нанесения подложка через выходные шлюзы перемещается в камеру отжига, где улучшается структура фольги, после чего фольгу отделяют от подложки. Фольгу сматывают в рулон, а подложка возвращается на участок подготовки и к входным шлюзам в рабочую камеру. Эти действия, как и монтаж демонтаж оборудования, должны осуществляться быстро и качественно. Описанная установка обладает высокой производительностью: из 1 кг Ni-Cr сплава удается получить 25 м2 фольги толщиной 5 мкм при затратах энергии всего 5— 10 кВт-ч.

Вместо тонкой движущейся ленты в качестве подложки можно применить цилиндрический вращающийся барабан из нержавеющей стали с полированной поверхностью. В описании к патенту рассмотрена конструкция установки, в которой часть барабана находится в вакууме, а часть — в атмосфере. Между ними размещена шлюзовая система из трех камер с отдельной откачкой. Авторы изобретения предложили для получения металлической фольги напылять металл в вакууме на внутреннюю поверхность вращающейся барабанной подложки, охватывающей испаритель. Фольга в начале цикла снимается при помощи заправочного конца. Этот способ позволяет увеличить коэффициент использования паров и повысить равномерность толщины фольги.