Чаще всего фракционирование сплавов является вредным эффектом, от которого при нанесении покрытий стараются избавиться. Однако известны случаи, когда фракционирование оказывается полезным. Авторы работы, исследуя тонкие пленки из сплавов на основе Си с добавками Со, Ni и Ti, установили, что фракционирование благоприятно сказывается на улучшении электрических свойств, адгезии и структуры пленок. Так, обогащение начальных слоев конденсата марганцем способствует улучшению адгезии к подложке; большое содержание кобальта и титана в поверхностном слое сглаживает рельеф конденсата и улучшает свариваемость пленки с золотыми электродами, а наличие в средней части конденсата Си увеличивает его электропроводность.
Большое различие в упругости паров компонентов сплава используется для контролируемого легирования полупроводников. Например, Se, легированный Sn, был получен путем двухстадийного испарения сплава, содержащего 4% Se. Вследствие того, что скорость испарения Se почти на девять порядков выше, чем Sn, на первой стадии (при температуре плавления сплава) полностью испаряется Se. Легирование оловом производят при повышении температуры испарения до 1250— 1300°С.
В описании к патенту предложен метод получения покрытий из легколетучего металла. Покрытие образуется путем выпаривания его из сплава с другим компонентом, летучесть которого при температуре плавления сплава очень мала. Преимуществом такого метода является то, что посредством понижения скорости испарения контроль за летучим компонентом значительно упрощается. Метод нанесения покрытий путем испарения конечной навески сплава из одного источника является наиболее простым в практическом осуществлении, но применим для нанесения только тонких пленок в установках периодического действия, если упругости паров компонентов отличаются незначительно. Удовлетворительная однородность и воспроизводимость состава покрытия достигается при неполном испарении навески и при высоких температурах испарения.
Дополнительная информация: на территории Евросоюза обязательны к выполнению нормы и требования, установленные для всех стран-участниц объединения. С 2008 года обязательным является
сертификат евро 5, в котором сформулированы нормы содержания вредных веществ в выхлопных газах грузовых транспортных средств, а с 2009 года этот стандарт обязателен и для легковых автомобилей.
Опубликовано: 2013-05-31
Источник: MetalMeb.ru