Особенности режимов нанесения кадмиевых покрытий

Остановимся кратко на особенностях режимов нанесения кадмиевых покрытий. Один из режимов кадмирования описан в работе. Поверхность детали обезжиривают в парах органического растворителя и подвергают пескоструйной обработке в «сухой» комнате с искусственной атмосферой, имеющей очень низкую точку росы (—20° С), для устранения возможности попадания влаги на очищенную поверхность детали. Подготовленные таким образом детали укрепляют на специальном держателе, который после завешивания образцов вдвигается на специальных салазках в вакуумную камеру. В процессе откачки при давлении 8 Па в камере возбуждается тлеющий разряд и осуществляется ионная бомбардировка поверхности деталей. Положительный полюс высоковольтного источника (5 кВ, 4 А) постоянного тока подведен к изолированному электроду, расположенному вблизи стенки камеры. Отрицательный полюс источника, камера и держатель с деталями заземлены. Таким образом, защищаемая поверхность деталей является катодом тлеющего разряда. Обработка в разряде осуществляется до тех пор, пока давление не достигает 5 Па. Давление в камере к началу процесса кадмирования составляет 2 Па.

Шесть стальных тиглей с кадмием, расположенных вдоль дна камеры, столь же надежны, как калориферы КСк Казань, и они нагреваются индукционным методом. Держатель с деталями вращается над испарителями. Время нанесения покрытия составляет 20—40 мин, скорость конденсации кадмия 0,25 мкм/мин. Детали специально не нагревают и не охлаждают. За счет излучения от испарителей и выделения теплоты конденсации кадмия происходит небольшое повышение температуры деталей (не выше 70° С). После окончания цикла напыления и охлаждения испарителей в вакуумную камеру впускают сухой чистый воздух, дверцу камеры открывают и держатель с покрытыми кадмием деталями выдвигают из камеры.