Рентгенографический анализ

Для рентгенографического анализа из алюминированного при данной температуре конденсации сплава МА8 вырезали полоски размером 10x12,5 мм. На одной из полосок стравливали покрытие в растворе щелочи, а на другой — растворяли основу в HN03. Рентгенограммы снимали на установке УРС-55а с внутренних поверхностей указанных полосок. Появление новых линий, свидетельствующих о возникновении интерметаллических соединений на границе покрытие — основа, наблюдается лишь при температуре конденсации 360° С. Расшифровка рентгенограмм показала, что указанные интерметаллические соединения состоят из крупнокристаллического Mg2Al3 (размер зерна порядка 40 мкм) и мелкокристаллического (размер зерна 1—10 мкм). Наличие интерметаллических соединений на границе покрытие—сплав ухудшает сцепление покрытия с основой. Давление остаточных газов и угол падения паров алюминия. Изучено влияние давления остаточных газов в диапазоне 6,7— 6,7-Ю-2 Па на структуру алюминиевых покрытий, осажденных на сплав МА8. Пленки алюминия толщиной порядка 100 нм наносили на полированную поверхность сплава МА8 при температуре конденсации 300° С.

При осаждении паров алюминия под различными углами к поверхности подложки наблюдается расхождение в размерах и форме кристаллов конденсата. Из рис. 30 видно, что при угле падения 0° кристаллиты имеют резкие очертания, их размеры достигают 1,2 мкм. Если угол падения паров алюминия составляет 30°, то наблюдается уменьшение размеров зерен до 0,2— 0,3 мкм. Островковая структура пленки при этом сохраняется. На микрофотографии алюминиевой пленки, полученной при угле падения 60°, очертания зерен размытые и наблюдаются «тени» от крупных кристаллитов. Это обусловлено тем, что хаотически расположенные зародыши конденсации затеняют (экранируют) подложку от пучка атомов.

Размытость очертаний кристаллитов, обусловленная экранировкой растущих кристаллов в пленках, полученных при давлении 6,7 Па, уже не проявляется. По-видимому, это связано с рассеянием атомов алюминия при их столкновениях с молекулами остаточных газов и между собой, в результате чего они попадают на все участки поверхности. Изменение угла падения паров алюминия на поверхность полированного сплава МА8 не приводит к появлению в пленках явно выраженной текстуры: пленки получаются поликристаллическими с хаотически ориентированными зернами. На электронограммах алюминиевых пленок, полученных при различных давлениях и разных углах падения паров алюминия на подложку, наблюдаются сплошные кольца.